HFE は通常、炭素・水素・酸素・フッ素の4元素のみを含むエーテル類化合物を指す。オゾン層破壊係数(ODP)はゼロであり、地球温暖化係数(GWP)が低く、かつ大気での滞留時間も非常に短いため、クロロフルオロカーボン(CFCs)の代替品で最適なものとされる。
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